
隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的快速升級與迭代演進(jìn),芯片制程持續(xù)向精細(xì)化方向突破,封裝工藝日趨復(fù)雜多元。傳統(tǒng)晶圓檢測顯微鏡受限于單一功能架構(gòu)與有限檢測維度,已很難滿足中國客戶多元化的檢測(量測)需求。
伴隨市場需求的持續(xù)攀升,行業(yè)競爭也日趨激烈,同質(zhì)化現(xiàn)象愈發(fā)凸顯,市場已逐步邁入紅海階段。在此背景下,優(yōu)秀的晶圓檢測顯微鏡應(yīng)該打造何種獨(dú)特的核心競爭力的差異化賣點(diǎn)來獲得客戶的青睞。這會成為破局突圍的關(guān)鍵所在。
徠卡DM8000系列晶圓檢測顯微鏡憑借徠卡顯微系統(tǒng)強(qiáng)大光學(xué)系統(tǒng),讓中國客戶僅需要一臺徠卡DM8000M就能夠?qū)?span style="color: rgb(255, 0, 0);">紫外光、可見光、紅外成像應(yīng)用集成在一臺機(jī)器來滿足微電子客戶多元化檢測需求,波段范圍覆蓋365-1500納米。依托獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計、鍍膜技術(shù)、光機(jī)一體設(shè)計理念,可精準(zhǔn)識別最小250納米的尺寸,亦可分析樣品內(nèi)部微米級的形貌。
原廠的N PLAN和FLORTA 物鏡,可以同時兼容可見光和紅外成像,給客戶帶來獨(dú)特的價值:無需像傳統(tǒng)的方式配備兩套物鏡,也無需頻繁的在可見光/紅外需求間拆卸物鏡,造成灰塵的進(jìn)入和物鏡的損壞。


使用第三方紅外LED+徠卡DM12000M+徠卡50倍 FLORTA BD物鏡拍攝的晶圓內(nèi)部互聯(lián)凸點(diǎn)(直徑2微米,間距2微米)
其強(qiáng)兼容性更值得稱道,以DM8000M為平臺可拓展激光標(biāo)定、全自動晶圓輸送、全自動宏觀檢測/拼圖等功能,搭配自動化設(shè)計大幅提升檢測效率與精度。

使用第三方外置激光+徠卡DM12000M+徠卡50倍 FLORTA BD物鏡標(biāo)記的晶圓表面參照點(diǎn))

合作伙伴以徠卡DM8000M作為機(jī)臺搭建的全自動8寸晶圓檢測系統(tǒng)
合作伙伴以徠卡DM8000M作為機(jī)臺搭建的全自動飛拍+拼圖功能展示
搭配第三方全自動晶圓輸送機(jī)功能展示
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DM8000M

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